UHV-TPD Workstation?超高真空TPD工作站

SIMS Workstation?二次離子質譜工作站

Hiden UHV-TPD工作站是專為超高真空熱脫附研究而設

Hiden SIMS?工作站，綜合UHV/SIMS?設備，進行高級的表

計的。

面分析。

●?帶有觀測窗和樣品加熱臺的真空室

●?各類型樣品的快速轉換

●?帶脈沖離子計數檢測器的三級過濾四極質譜儀

●?靜態、動態SIMS

（Hiden 3F/PIC）

●?整體的離子源，用于RGA/SNMS

●?質量數范圍：1～300、510、1000aum

●?表面修飾/光柵研究

●?快速質譜數據采集：>500數據點/秒

●?SIMS?表面形態/成像

●?工作站含有操作軟件，可自動控制樣品溫度

●?表面污染物分析

●?TPD常規分析，包括質譜峰的積分和反褶積計算等

●?正、負離子、中性粒子、自由基的質量、能量分析儀

●?樣品可加熱到1000℃

●?讀數電子槍（選配）用于絕緣體研究時的電荷中和

●?密閉、自動裝樣器

●?快速樣品傳遞，樣品固定，負載鎖定的操縱器

●?智能操作軟件控制實驗操作

●?4?軸：X,Y,Z,θ UHV?操縱器，以定位樣品

?

●?加上ESM LabVIEW SIMS成像程序，進行SIMS元素成像

?

●?靜態SIMS光譜資料庫可用

SPACI-MS?空間分辨質譜儀

Compact SIMS小型二次離子質譜儀

SPACI-MS是一臺商業的空間分辨質譜儀，可以

完備的二次離子質譜和二次中性粒子譜系統，一種簡單而快

進行徑向和軸向的物質檢測和溫度分布繪圖，具有極高空

速的工具，用于分析樣品層狀結構、表面污染和雜質含量。

間和時間分辨率，可以排除溫度和氣流的干擾。16路進氣

靈敏的正離子檢測，在全質量數范圍內提供同位素分辨率。

口，連接到hiden的質譜上可以自動、快速地繪制溫度和

離子槍的設計，可以提供納米級的深度分辨率和近表面分析。

氣體分布譜圖。

●?體積小巧

?

●?發動機催化反應

●?10個樣品裝載

●?尾氣排放

●?深度剖析

●?燃料電池研究

●?僅需單相電源（<10A）

●?非熱平衡等離子體反應

●?正二次離子質譜和二次中性粒子譜

●?定量分析反應器內的瞬態和分布

●?移動車的設計

●?高時間分辨和小的擾動

●?3D表征和成像

●?空間分辨：0.1mm

●?質譜圖

●?軸向驅動：0～300mm

●?同位素分析