HPR 30?過程氣體分析儀

HPR 70?批量進樣氣體分析系統

HPR30是用于真空、等離子體和薄膜加工監測的高性能

●?密封、離散容器內所有組分的定量分析

過程氣體分析、控制分析儀。

●?定量樣品檢測

●?取樣壓力：1x10^－4mbar～1mbar（可擴展低壓到UHV）

●?1cm³噴流擴充至10cm³～1升體積

●?穩定性好：24h之上，小于峰高的±0.5%

●?樣品漏失/零排放/零記憶效應

●?高靈敏度：5ppb

●?不連續的/分批樣品分析

●?質量數范圍：1～200、300、510、1000amu

●?遠程樣品采集/本地分析

●?過程控制開關

●?膨脹體積內直接分子漏孔取樣

●?信號輸入、輸出接口

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HPR 40?薄膜進樣質譜儀（MIMS）

HPR 90?密封氣體分析儀

HPR40是用于對溶解性氣體進行精確分析，或過程中產生

HPR90是獨特的專用系統，分析燈泡（管）中填充氣體

的易溶物研究。

及其他密封件中的氣體。

●?土壤成分分析

●?可互換的破裂室，手動破裂裝置

●?發酵過程分析

●?網眼篩選，密封件固定器，2微米在線進樣口過濾器

●?江、河、水庫的水質分析

●?自動進樣口，附自動泄漏閥、波紋管密封隔離閥

●?電化學反應研究

●?靈敏度高，分析可至10ppm，質量數至2500amu.

●?微生物/酶活性研究

●?標定氣體進樣系統

●?環境監測

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